產品介紹
產品名稱:spectron終端閥組(EES55-1-VCR)
品牌:德國spectron
產地:德國
型號:EES55-1-VCR
產品特性
•終端閥組適用于純度6.0以上的腐蝕性氣體或混合氣體
•控制精度高
•減壓閥為綁定式膜片結構
•軌道焊接的VCR接頭
•可用于真空條件
•可選手動或氣動膜片截止閥:
-工藝氣體入口(TPI)
-吹掃氣體入口(SPI)
-吹掃氣體出口(SPV)
-工藝氣體出口(TPO)
•100%氦氣泄漏檢測
•在等級ISO 5.0的潔凈室中進行組裝
技術參數
進氣壓力 P?:** 50 bar
出氣壓力 P?:** 1,5 / 4 / 10 bar
材料:閥體:不銹鋼 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它與氣體接觸零件: 不銹鋼 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度 (氣體接觸部分):Ra,** ≤ 0,25 µm:泄漏率:(對外): 1 x 10?? mbar l/s He
(對內): 1 x 10?? mbar l/s He
C?-值:0,24 (kv = 0,2)
溫度范圍:-20°C 到 +60°C
重量:2,4 ... 5,0 kg