產品介紹
產品名稱: 美國Teledyne API ODS系列-高濃度高純度臭氧輸送系統
型號系列:ODS系列
品牌:Teledyne API
產地:美國
價格:**終成交價格需聯系客服
訂貨號:ODS系列
Teledyne API ODS系列-高濃度高純度臭氧輸送系統概述:
ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求**的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合完全，操作簡單，能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯動，插入即可使用。
該系統基于微處理器的控制器能夠根據用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。
該臭氧輸送系統包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險?。
Teledyne API ODS系列-高濃度高純度臭氧輸送系統特征:
高純度臭氧
高臭氧濃度
價格低
無消耗品
設計緊湊，模塊化
經過驗證的技術
Teledyne API ODS系列-高濃度高純度臭氧輸送系統特征:
高純度水冷臭氧發生器，可生產濃度高達350 g/Nm3?的臭氧
先進的高濃度監測儀
使用質量流量控制器監測和控制臭氧和進料氣
完整的安全聯鎖和EMO系統?
支持**多四個獨立的伺服控制回路?
19英寸機架固定，頂端配有排氣系統，底端配有輪子
Teledyne API ODS系列-高濃度高純度臭氧輸送系統應用:
ODS - 氧氣輸送系統具有多功能性，且安裝使用簡單，已經廣泛應用在需求不同濃度、流量的薄片處理應用中，例如：半導體,化學氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化
