產品介紹
產品名稱: 高純度水冷臭氧發生器
型號系列:OG-5000系列
品牌:Teledyne API
產地:美國
價格:**終成交價格需聯系客服
訂貨號:OG-5000系列
Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發生器概述:
OG-5000系列臭氧發生器是為滿足半導體工業中對高濃度潔凈臭氧的需求而設計的，可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。
OG-5000系列設計緊湊，使用水冷系統，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監測器和臭氧破壞器中。該儀器經過驗證的技術使得它可廣泛應用于半導體流程中。??
Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發生器特征:
高純度臭氧
高臭氧濃度
價格低
無消耗品
設計緊湊，模塊化
經過驗證的技術
Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發生器應用:
半導體
化學氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
粒子清潔
光刻膠去除
灰化
其他
Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發生器規格:
